NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學輪廓儀

NanoSystem成立于2003年，為半導體、顯示器和其他精密機械行業提供了用非接觸式表面測量方法進行測量的解決方案。 NanoSystem已經建立了非接觸式2D、3D測量和檢測系統的核心技術，并成為該市場解決方案的Leader。

高精度(Z軸分辨率達0.1nm)的非接觸式表面輪廓儀，采用白光掃描干涉技術，使客戶有能力看到、理解和糾正或保持產品質量。

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學輪廓儀為LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS，Engineering Surfaces等領域提供納米級別精度的測量.

包括：非接觸3D形貌測量，更廣的測量范圍（5mm可選），自動聚焦功能（可選），拼接和線路縱斷面等功能。

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學輪廓儀技術參數

干涉物鏡：5物鏡可選(程控）

掃描范圍：0-180um（270um，5mm可選）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

橫向分辨率：0.2-4um（取決于物鏡和FOV）

傾斜度：±6°

工作平臺：NV-P2020  200X200mm（程控）    

NV-P4050  400X500mm（程控）