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    FilmTek 4500反射透射膜厚測量儀

    簡要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚測量儀利用新的多角度差分極化測量(MADP)技術(shù)與SCI patented的差分功率譜密度(DPDS)技術(shù)相結(jié)合,提供了一種在工業(yè)中具有佳的分辨率、準(zhǔn)確度和可重復(fù)性的光學(xué)薄膜計量工具。通過提供更高的精度和準(zhǔn)確度,F(xiàn)ilmTek 4500使后期集成電路生產(chǎn)過程中的薄膜過程控制更加嚴(yán)格,從而提高了整個器件的產(chǎn)量。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2019-02-03
    • 訪  問  量:693

    產(chǎn)品分類

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    詳細(xì)介紹

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    Measurement Features

    FilmTek™

    4000 / 4500

    Index of Refraction折射率
    (at 2µm thickness)

    ±0.00002

    Thickness Measurement Range

    膜厚范圍

    3nm-350µm

    Maximum Spectral Range (nm)

    大光譜范圍

    190-1700nm

    Standard Spectral Range (nm)

    標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍

    380-1000nm

    Reflection

    反射

    Yes

    Transmission

    透射

     Yes(4500)

    Spectroscopic Ellipsometry

    橢圓光譜技術(shù)

    No 

    Power Spectra Density

    功率譜密度

    Yes

    Multi-angle Measurements

    多角度測量(DPSD)

    Yes

    TE & TM Components of Index

    TETM成分指數(shù)

    Yes

    Multi-layer thickness

    多層厚度

    Yes

    Index of Refraction

    折射率

    Yes

    Extinction (absorption) Coefficient

    消光(吸收)系數(shù)

    Yes

    Energy band gap

    能帶隙

    Yes

    Composition

    組成

    Yes

    Crystallinity

    結(jié)晶度

    Yes

    Inhomogeneous Layers

    非均勻?qū)?/span>

    Yes

    Surface Roughness

    表面粗糙度

    Yes

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