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    FilmTek 4500反射透射膜厚測量儀

    簡要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚測量儀利用新的多角度差分極化測量(MADP)技術與SCI patented的差分功率譜密度(DPDS)技術相結合,提供了一種在工業中具有佳的分辨率、準確度和可重復性的光學薄膜計量工具。通過提供更高的精度和準確度,FilmTek 4500使后期集成電路生產過程中的薄膜過程控制更加嚴格,從而提高了整個器件的產量。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2019-02-03
    • 訪  問  量:784

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    Measurement Features

    FilmTek™

    4000 / 4500

    Index of Refraction折射率
    (at 2µm thickness)

    ±0.00002

    Thickness Measurement Range

    膜厚范圍

    3nm-350µm

    Maximum Spectral Range (nm)

    大光譜范圍

    190-1700nm

    Standard Spectral Range (nm)

    標準光譜范圍

    380-1000nm

    Reflection

    反射

    Yes

    Transmission

    透射

     Yes(4500)

    Spectroscopic Ellipsometry

    橢圓光譜技術

    No 

    Power Spectra Density

    功率譜密度

    Yes

    Multi-angle Measurements

    多角度測量(DPSD)

    Yes

    TE & TM Components of Index

    TETM成分指數

    Yes

    Multi-layer thickness

    多層厚度

    Yes

    Index of Refraction

    折射率

    Yes

    Extinction (absorption) Coefficient

    消光(吸收)系數

    Yes

    Energy band gap

    能帶隙

    Yes

    Composition

    組成

    Yes

    Crystallinity

    結晶度

    Yes

    Inhomogeneous Layers

    非均勻層

    Yes

    Surface Roughness

    表面粗糙度

    Yes

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